（近日発売）装置搭載式水素リークディテクタ
HDZ-0201series
半導体式
ワーク全体からの総合的な漏れを測定する場合に使用します。
ワークをチャンバで覆い、ワーク内部にトレーサガスを充填し、漏れ出たガスをチャンバ内に堆積させ、漏れ出たガスを攪拌し、強制循環させ、水素ディテクタによりガス濃度を測定する大気圧チャンバ法と、チャンバ内を真空にした後、チャンバに大気を導入し、水素ディテクタにガスを導くことで、高感度な測定が出来る真空チャンバ法があります。
小型・軽量で装置に組込み易い設計。製品やチャンバーの直近に取付け易い構造となっています。
加えて濃度分解能力は0.1 ppmまでの超高感度（設定条件や環境条件による）。
基本仕様
| 検知原理 | 半導体式 |
|---|---|
| 検出感度 | 1×10⁻⁶Pa･m³/s相当 *検査条件、測定環境による |
| 使用法 | 装置組込み型（装置搭載式専用） |
| 分解能 | 0.1ppm |
| 電源電圧 | DC24V |
| 外観寸法（mm） | W93×D91×H97 |