小型電子部品専用気密検査装置とは？
水晶デバイス、セラミック発振子、光デバイス、パワー半導体、CANデバイス、レーザーダイオード、MEMSデバイス、SAWフィルタ、小型リレー、コンデンサなど、気密性が求められる小型電子部品のリークテストを行う装置です。密封された製品のリークテストは、グロスリークテストとファインリークテストの2種類の検査を行う必要があります。全行程を一台で行える全自動機や専用機（特注）、抜取り検査に便利な卓上タイプをラインアップしております。
ボンビング／グロス／ファインリークテストシステム
ヘリウム浸漬（ボンビング）、グロスリーク、ファインリークテストの条件を管理しながら
リークテストを行う装置です。
グロスリークテストシステム
グロスリーク判別を行うグロスリークテスト装置です。
より小さい漏れ試験をしたい方はこちらへ
（ウルトラファインリークテスト・4×10-15Pa・m3/s (He) ）