デバイス開発時の試験、量産ライン投入前の事前実験、抜き取り検査などの少量検査に最適な卓上タイプのエアリークテスト装置です。
検査対象サイズ:2.5×2.0mm~Φ18.5×長さ30mmまで
判別レベル (Pa・m³/s) | ▼テスト圧200kPaの時 FL-510: 1×10⁻⁴~大リーク 大きいワーク(φ18.5 ×長さ30mm まで) ※MS-511のみ FL-513: 1×10⁻⁵~大リーク 5.0×3.2mm FL-515: 5×10⁻⁶~大リーク 2.5×2.0、3.2×2.5mm |
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チャンネル数 | MS-512:1ch MS-522:2ch |
電源電圧 | AC100V±10% 単相50/60Hz |
空圧源 | 0.6 MPa 以上 |
外形寸法(mm) | MS-512:W300×D505×H367 MS-522:W384×D505×H367 *突起物は含まず |
質量 | MS-512:20kg MS-522:30kg |