デバイス開発時の試験、抜き取り検査等の多品種少量検査用に開発され、グロスリークテストとファインリークテストに一台で対応します。
検査対象サイズ (mm) | 1.2×1.0~2.5×2.0、Φ12~3.2×2.5 ※グロスリークセンサの種類により対象サイズが異なります |
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判別レベル (Pa・m³/s) | グロスリーク:2×10⁻⁷~大リーク(等価標準リーク) ファインリーク:1×10⁻⁹~(He) |
電源電圧・消費電力 | AC100V±10% 単相50/60Hz ・ 2kVA |
空圧源 | 0.5 MPa以上 |
ヘリウム源 | 0.5~1 MPa(ボンベからの充填圧による) |
外形寸法(mm) | W1000×D850×H1200 |