ボンビング／グロス／ファインリークテストシステム
MSX-6200 series
ボンビング（ヘリウム浸漬）、グロスリークテスト、ファインリークテストの条件を管理しながらリークテストを行います。
基本仕様
| 検査対象サイズ (mm) | 2.0×1.6～3.2×2.5 |
|---|---|
| 処理速度 | 12ch 0.8s/個（ボンビング 60min） |
| 判別レベル (Pa･m³/s) | グロスリーク：2×10⁻⁷～（等価標準リーク） ファインリーク：1×10⁻⁹～（He） |
| 電源電圧・消費電力 | AC200V±10％ 三相50/60Hz ・ 4kVA |
| 空圧源 | 0.5 MPa以上 |
| 外形寸法(mm) | W1600×D1000×H1800 ※シグナルタワー除く |