ボンビング／グロス／ファインリークテストシステム
MSX-7000 series
ボンビング（ヘリウム浸漬）、グロスリークテスト、ファインリークテストの条件を管理しながらリークテストを行います。業界で初めて1.0×0.8mmサイズに対応。画像処理を用いた位置補正により搬送精度を向上しました。
基本仕様
| 検査対象サイズ (mm) | 1.0×0.8、1.2×1.0 |
|---|---|
| 処理速度 | 12ch 1.0s/個（ボンビング60min） |
| 判別レベル (Pa･m³/s) | グロスリーク：8.5×10⁻⁸～大リーク（等価標準リーク） ファインリーク：1×10⁻⁹～（He） |
| 電源電圧・消費電力 | AC200V±10％ 三相50/60Hz ・ 4kVA |
| 空圧源 | 0.5 MPa以上 |
| ヘリウム源・窒素源 | 装置外部装ボンベを0.6 MPaに調整 純度99.99%以上 |
| 外形寸法(mm) | W1800×D1400×H1800 ※シグナルタワー、液晶パネルを除く |