電子部品専用気密検査装置 MSX-7003 series
MSX-7003 series
グロスリークテスト/ファインリークテスト
ボンビング（ヘリウム浸漬）、グロスリークテスト、ファインリークテストが1台で行える複合気密検査装置です。
中大型の電子デバイス品、LED・光デバイス・高周波デバイス・パワー半導体・IRセンサ・電解コンデンサ等、10.0㎜角以下
の製品で対応可能です。
搬送系は製品サイズに合わせパレット to パレットやトレイ to トレイなどに対応する設計となっています。
7003 seriesは、複合気密検査装置のMSXだけでなく、ファインリーク専用やグロスリーク専用装置など、用途に合わせて
ご用意しておりますので、お問合わせ下さい。
基本仕様
| 検査対象サイズ (mm) | W10.0×D10.0×t5.0 |
|---|---|
| 処理速度 | 最大8ch、1.5sec/個 ＊条件による |
| 判別レベル (Pa･m³/s) | グロスリーク：1×10⁻⁶～大リーク（等価標準リーク）＊条件による ファインリーク：1×10⁻⁹～（He） |
| 電源電圧・消費電力 | AC200V±10％ 三相50/60Hz ・ 2kVA |
| 空圧源 | 0.5 MPa 以上 |
| ヘリウム源・窒素源 | 装置外部ボンベ0.6 MPaへ調圧 純度99.99% 以上 |
| 外形寸法(mm) | W1425×D1100×H1800（突起含まず） |