ウルトラファインリークテストシステム
MUH-0100 series
特許番号 PAT.NO.5970618
真空チャンバ法、カプセル蓄積法
本システムは、ファインリークテスト（真空チャンバ法）、ウルトラファインリークテスト（カプセル蓄積法）により、気密検査を行う装置です。
●カプセル蓄積法採用で、最小4×10⁻¹⁵Pa･m³/s（He）まで計測可能
基本仕様
| 漏れ判定レベル | 4×10⁻¹⁵ Pa･m³/s (He) まで 計測可能 |
|---|---|
| 対象ワークサイズ | Φ44×D31 mm(角30×30)以内 |
| 対象ワーク | MEMS部品（圧力センサ、加速度センサ、角速度センサ、赤外線イメージセンサ）、電子部品、ハーメチックパッケージ、水晶デバイス など |
| 電源電圧・消費電力 | AC100V ±10% 単相 50/60Hz ・ 800VA |
| 空圧源 | 0.35MPa以上、0.6MPa以下 |
| チャンバ洗浄用ガス | 純度99.99%以上ドライ窒素、またはアルゴンガス 0.1MPa以上、0.5MPa以下 |
| 外形寸法（mm） | W760×D770×H1200 |
| 質量 | 200kg |